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CASA立項《HEMT功率器件用硅襯底氮化鎵外延片》1項團體標準

發(fā)表于:2025-02-27 來源:半導體產(chǎn)業(yè)網(wǎng) 編輯:

?2025年2月24日,按照第三代半導體產(chǎn)業(yè)技術創(chuàng)新戰(zhàn)略聯(lián)盟標準化委員會(CASAS)相關管理辦法,經(jīng)CASAS管理委員會投票通過1項硅襯底氮化鎵外延片方面的團體標準立項建議,詳細信息如下:

秘書處將向CASAS正式成員發(fā)出征集起草單位的通知,組建標準起草小組,請CASAS正式成員關注秘書處郵件(casas@casa-china.cn)。

T/CASAS 060—202X 《HEMT器件用硅襯底氮化鎵外延片》旨在規(guī)范用于制備HEMT用的Si襯底GaN外延材料在關鍵參數(shù)要求、測試方法、檢測規(guī)則、包裝運輸?shù)确矫娴臉藴剩瑸楹罄m(xù)制造GaN功率器件提供基礎。目前市場Si襯底GaN外延材料以6英寸和8英寸為主,本文件對6英寸和8英寸外延材料做了規(guī)范。首先提出了使用的Si襯底的參數(shù)要求;其次提出了外延片的材料的晶體質(zhì)量、外延層厚度及翹曲、表面顆粒、表面粗糙度等要求;也提出了外延材料的二維電子氣(2DEG)濃度、遷移率、方阻不均勻性、緩沖層垂直擊穿電壓及漏電流等參數(shù)要求,以確保外延片性能符合器件性能和應用的需求;同時還應提出了外延片厚度不均勻性的要求,使生產(chǎn)的大尺寸GaN-on-Si外延片能夠確保器件在量產(chǎn)過程中保持較高良率。此外,還需要針對GaN-on-Si外延片關鍵參數(shù)的檢測方法和檢測規(guī)則制定規(guī)范化標準,以便對符合標準的外延片進行認證和標識。?

蘇州晶湛半導體有限公司

晶湛半導體由業(yè)界公認的硅基氮化鎵(GaN-on-Si)外延技術的開拓者程凱博士于2012年3月回國創(chuàng)辦,坐落于蘇州市工業(yè)園區(qū),擁有國際先進的氮化鎵外延材料研發(fā)和產(chǎn)業(yè)化基地,致力于為電力電子以及微顯示等領域提供高品質(zhì)氮化鎵外延材料解決方案,也是目前國際上可供應300mm硅基氮化鎵外延產(chǎn)品的先鋒廠商,技術實力處于國際領軍地位。

在公司發(fā)展過程中,晶湛在業(yè)內(nèi)創(chuàng)造過多項創(chuàng)舉。2014年底,晶湛半導體率先在全球發(fā)布商用8英寸硅基氮化鎵外延片產(chǎn)品,經(jīng)有關下游客戶驗證,該材料具備全球領先的技術指標和卓越的性能,實現(xiàn)了國內(nèi)氮化鎵產(chǎn)業(yè)的重要升級。2021年9月,晶湛半導體成功發(fā)布12英寸硅基電力電子氮化鎵外延片,贏得了國內(nèi)外廣泛關注。經(jīng)過多年的專注發(fā)展,晶湛半導體已經(jīng)成為國內(nèi)GaN材料研發(fā)和產(chǎn)業(yè)化的領軍企業(yè),通過與全球數(shù)百家知名半導體科技企業(yè)、高校科研院所客戶建立廣泛深入的合作,多次在行業(yè)頂級期刊Nature Electronics,IEEE Electron DeviceLetters,及國際頂級會議IEDM等發(fā)布相關創(chuàng)新成果,引起國際半導體界的廣泛關注和一致好評。

晶湛半導體高度重視自主研發(fā)和核心知識產(chǎn)權工作,在氮化鎵外延領域已掌握多項核心技術, 擁有獨立的自主知識產(chǎn)權,晶湛半導體目前已在國內(nèi)外累計申請超900項專利,其中已獲得超200項專利授權。公司還先后榮獲國家級專精特新小巨人企業(yè)、國家知識產(chǎn)權優(yōu)勢企業(yè)、高新技術企業(yè)、江蘇省企業(yè)工程技術研究中心、江蘇省潛在獨角獸企業(yè)、江蘇省瞪羚企業(yè)、江蘇省百件優(yōu)質(zhì)發(fā)明專利、江蘇省高質(zhì)量發(fā)明專利、蘇州市技術發(fā)明一等獎、蘇州市優(yōu)秀專利獎等一系列資質(zhì)和榮譽。

蘇州晶湛半導體有限公司將一直秉承著“成為世界領先的第三代半導體材料供應商”的愿景,為客戶創(chuàng)造價值。?

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